-
Ultra-Yüksek Saflık ve Izolasyon: 99.5% -99.99% Al2O3 sınıfı, hacim direnci > 1014 Ω · cm, ICP kazıcılarında ve iyon implantörlerinde yüksek voltajlı izolasyon için idealdir.
-
Aşırı Plazma Direnci: Cl2 / CF4 plazma ortamlarında kuvarsı geçerek, değiştirme sıklığını% 60 oranında azaltır ve bakım maliyetlerini düşürür.
-
Termal Dayanıklılık: 1600 ° C'ye kadar dayanır, termal genişleme katsayısı (7-8×10−6 ° C) silikon vafelerle mükemmel bir şekilde eşleşir ve termal stres arızalarını ortadan kaldırır.
-
Sınıf 1 Temiz Oda Uygunluğu: En az parçacık salınımı ile ayna-dönüşüm yüzeyi (Ra < 0.01μm), doğrudan wafer temas bileşenleri için güvenli.
chat now
chat now
