-
خلوص فوقالعاده بالا و عایقبندی: درجه ۹۹.۵٪-۹۹.۹۹٪ Al₂O₃، مقاومت حجمی >۱۰¹⁴ Ω·cm، ایدهآل برای عایقبندی ولتاژ بالا در اچرهای ICP و ایمپلنتهای یونی.
-
مقاومت شدید در برابر پلاسما: عملکرد بهتر از کوارتز در محیطهای پلاسمای Cl₂/CF₄، کاهش ۶۰٪ در دفعات تعویض و کاهش هزینههای نگهداری.
-
پایداری حرارتی: تحمل تا ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد، ضریب انبساط حرارتی (۷-۸×۱۰⁻⁶/°C) کاملاً با ویفرهای سیلیکونی مطابقت دارد و خرابیهای ناشی از تنش حرارتی را از بین میبرد.
-
انطباق با اتاق تمیز کلاس ۱: سطح آینهای (Ra < ۰.۰۱ میکرومتر) با حداقل انتشار ذرات، ایمن برای قطعات در تماس مستقیم با ویفر.کاربرد
chat now