-
Ультравысокая чистота и изоляция: 99,5% - 99,99% Al2O3, объемная резистивность > 1014 Ω·cm, идеально подходит для изоляции высокого напряжения в резьбах ICP и ионных имплантаторах.
-
Экстремальная устойчивость к плазме: превосходит кварц в плазменной среде Cl2/CF4, уменьшая частоту замены на 60% и снижая затраты на техническое обслуживание.
-
Тепловая устойчивость: выдерживает до 1600 ° C, коэффициент теплового расширения (7-8 × 10 - 6 ° C) идеально соответствует кремниевым пластинам, исключая сбои теплового напряжения.
-
Соответствие требованиям класса 1 "чистое помещение": зеркальная поверхность (Ra < 0,01μm) с минимальным высвобождением частиц, безопасная для непосредственного контакта компонентов пластины.
chat now
chat now
chat now
