-
نقاء وعزل فائقان: درجة 99.5% - 99.99% من Al₂O₃، مقاومة حجمية >10¹⁴ أوم.سم، مثالية للعزل عالي الجهد في أجهزة النقش ICP وزرع الأيونات.
-
مقاومة قصوى للبلازما: تتفوق على الكوارتز في بيئات بلازما Cl₂/CF₄، مما يقلل من تكرار الاستبدال بنسبة 60% ويخفض تكاليف الصيانة.
-
استقرار حراري: تتحمل حتى 1600 درجة مئوية، معامل التمدد الحراري (7-8 × 10⁻⁶/درجة مئوية) يتطابق تمامًا مع رقائق السيليكون، مما يلغي فشل الإجهاد الحراري.
-
الامتثال لغرفة نظيفة من الفئة 1: سطح بلمعان المرآة (Ra < 0.01 ميكرومتر) مع الحد الأدنى من إطلاق الجسيمات، آمن للمكونات التي تتلامس مباشرة مع الرقائق.التطبيق
chat now