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超高純度&絶縁性: 99.5%-99.99% Al₂O₃グレード、体積抵抗率 >10¹⁴ Ω・cm、ICPエッチャーやイオン注入装置の高電圧絶縁に最適。
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極めて高いプラズマ耐性: Cl₂/CF₄プラズマ環境で石英を凌駕し、交換頻度を60%削減し、メンテナンスコストを低減します。
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熱安定性: 最大1600℃に耐え、熱膨張係数(7-8×10⁻⁶/℃)はシリコンウェーハと完全に一致し、熱応力による破損を排除します。
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クラス1クリーンルーム準拠: 最小限の粒子放出を伴うミラー仕上げ面(Ra < 0.01μm)で、直接ウェーハ接触部品に安全です。用途
