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초고 순도 및 단열: 99.5% ~ 99.99% Al2O3 등급, 부피 저항성 > 1014 Ω · cm, ICP 에처 및 이온 임플란터에서 고전압 단열에 이상적입니다.
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극심한 플라즈마 저항: Cl2 / CF4 플라즈마 환경에서 쿼츠를 능가하여 교체 빈도를 60% 감소시키고 유지 보수 비용을 줄입니다.
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열 안정성: 1600°C까지 견딜 수 있으며 열 팽창 계수 (7-8×10−6/°C) 는 실리콘 웨이퍼와 완벽하게 일치하여 열 스트레스 장애를 제거합니다.
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클래스 1 청정실 준수: 미러 마감 표면 (Ra < 0.01μm) 은 최소 입자 방출과 함께, 직접 웨이퍼 접촉 구성 요소에 안전합니다.
