-
Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα & μόνωση: Βαθμός 99,5%-99,99% Al₂O₃, ειδική αντίσταση όγκου >10¹⁴ Ω·cm, ιδανικό για μόνωση υψηλής τάσης σε ICP etchers και ion implanters.
-
Αντοχή σε ακραίο πλάσμα: Υπερτερεί του χαλαζία σε περιβάλλοντα πλάσματος Cl₂/CF₄, μειώνοντας τη συχνότητα αντικατάστασης κατά 60% και μειώνοντας το κόστος συντήρησης.
-
Θερμική σταθερότητα: Αντέχει έως και 1600°C, ο συντελεστής θερμικής διαστολής (7-8×10⁻⁶/°C) ταιριάζει απόλυτα με τα πλακίδια πυριτίου, εξαλείφοντας αστοχίες λόγω θερμικής καταπόνησης.
-
Συμμόρφωση με καθαρό δωμάτιο Κλάσης 1: Επιφάνεια καθρέφτη (Ra < 0,01 μm) με ελάχιστη απελευθέρωση σωματιδίων, ασφαλές για εξαρτήματα άμεσης επαφής με πλακίδια.Εφαρμογή
chat now
chat now
chat now
chat now
