-
Ultra-High Purity & Insulation: 99.5%-99.99% Al2O3 grade, resistivitas volume >1014 Ω·cm, ideal untuk isolasi tegangan tinggi di etcher ICP dan implan ion.
-
Resistensi Plasma Ekstrim: Mengungguli kuarsa di lingkungan plasma Cl2/CF4, mengurangi frekuensi penggantian sebesar 60% dan menurunkan biaya pemeliharaan.
-
Stabilitas termal: Tahan hingga 1600 ° C, koefisien ekspansi termal (7-8×10−6/° C) sangat cocok dengan wafer silikon, menghilangkan kegagalan stres termal.
-
Kelas 1 Kesesuaian Cleanroom: permukaan cermin (Ra < 0,01μm) dengan pelepasan partikel minimal, aman untuk komponen kontak wafer langsung.
chat now
