| 材料: | 99.7% アルミナセラミックス(Al₂O₃) | 純度: | ≥ 99.7% |
|---|---|---|---|
| 色: | アイボリーホワイト | 製品タイプ: | フォークアーム / ダイヤモンドアーム / バーアーム |
| 応用: | 半導体・電子工学 | 重要な関数: | 特殊な材料の正確な取り扱いと操作 |
| 熱抵抗: | 最大1600°C | 電気特性: | 高度な電気隔熱 |
| カスタマイズ: | OEM/ODM を受け入れ、カスタム図面とサンプルを歓迎 | MOQ: | 1個 |
| ハイライト: | 99.7%高純度アルミナセラミック半導体アーム,高電気絶縁性アルミナセラミックハンドリングアーム,1600℃までの耐熱性アルミナセラミックウェーハアーム |
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| 特性 | 単位 | 95% Al₂O₃ | 99% Al₂O₃ | 99.5% Al₂O₃ |
|---|---|---|---|---|
| 色 | -- | 白 | 黄 | 黄 |
| 密度 | g/cm³ | 3.7 | 3.85 | 3.9 |
| 硬度 | GPa | 13.7 | 15.2 | 15.7 |
| 圧縮強度 | MPa | 2000 | 2160 | 2350 |
| 曲げ強度 | MPa | 280 | 310 | 350 |
| 破壊靭性 | MPa・m¹/² | 3~4 | 3~4 | 4.5 |
| 弾性率 | GPa | 320 | 360 | 370 |
| ポアソン比 | -- | 0.23 | 0.23 | 0.23 |
| 特性 | 単位 | 95% Al₂O₃ | 99% Al₂O₃ | 99.5% Al₂O₃ |
|---|---|---|---|---|
| 最高使用温度 | ℃ (無負荷) | 1650 | 1650 | 1650 |
| 熱伝導率 @ 20℃ | W/(m・K) | 24 | 29 | 32 |
| 熱膨張係数 a @ 20-400℃ | 1 x 10⁻⁶/℃ | 7~8 | 7~8 | 7~8 |
| 比熱 | J/(kg・K) | 780 | 790 | 780 |
| 熱衝撃抵抗 | ℃ (水に入れる) | 200 | 200 | 200 |
| 特性 | 単位 | 95% Al₂O₃ | 99% Al₂O₃ | 99.5% Al₂O₃ |
|---|---|---|---|---|
| 誘電率 | 1MHz | 9.4 | 9.9 | 9.9 |
| 絶縁破壊強度 | V/m | 15 x 10⁶ | 15 x 10⁶ | 15 x 10⁶ |
| 誘電正接 | 1MHz | 4 x 10⁻⁴ | 4 x 10⁻⁴ | 4 x 10⁻⁴ |
| 体積抵抗率 @ 25℃ | Ω・cm | >10¹⁴ | >10¹⁴ | >10¹⁴ |
| 体積抵抗率 @ 500℃ | Ω・cm | >10⁸ | >10⁸ | >10¹⁰ |